Контроль товщини тонких плівок еліпсометричним методом
DOI:
https://doi.org/10.20535/2077-7264.4(30).2010.55700Ключові слова:
контроль товщини, тонка діелектрична плівка, еліпсометричний метод, коефіцієнт заломленняАнотація
Проведено опис роботи лазерного еліпсометричного мікроскопа ЛЭМ-3 для контролю товщини тонких плівок. Показано, що еліпсометричні методи контролю дозволяють вимірювати товщини та коефіцієнти заломлення тонких прозорих діелектричних плівок у діапазоні товщин від 0,3 нм до 1500 нм (0,0003–1,5 мкм) з похибкою вимірювання ±0,3 нм.
Посилання
Jellipsometricheskij kompleks dlja issledovanija bystroprotekajushhih vysokotemperaturnyh processov / S. V. Ryhlickij, V. A. Shvec, S. I. Chikichev, V. Ju. Prokop'ev, E. V. Spesivcev // Avtometrija. — 2004. — T. 40. — № 6. — S. 61—69.
Ryhlickij S. V. Skanirujushhij mikrojellipsometr / Ryhlickij S. V., Spesivcev E. V., Shvec V. A., Prokop'ev V. Ju. // Fotometrija i ee metrologicheskoe obespechenie : Vserossijskaja nauch.-tehn. konf., 15-17 apr. 2009 g. : tezisy dokl. — 2009. — 18. — S. 34—36.
Shvec V. A. Jellipsometricheskaja ustanovka vysokogo vremennogo razreshenija dlja izuchenija vysokotemperaturnyh processov / Shvec V. A., Ryhlickij S. V., Spesivcev E. V., Prokop'ev V. Ju. // Fotometrija i ee metrologicheskoe obespechenie : Vserossijskaja nauch.-tehn. konf., 15-17 apr. 2009 g. : tezisy dokl. — 2009. — 18. — S. 57—58.
##submission.downloads##
Опубліковано
Як цитувати
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2010 A. Yushko, M. Zenkin
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Наше видання використовує положення про авторські права Creative Commons CC BY для журналів відкритого доступу.
Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:
1. Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons CC BY, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов’язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
2. Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
