Юшко АВ, Зенкін МА. Контроль товщини тонких плівок еліпсометричним методом. ТТД [інтернет]. 30, Грудень 2010 [цит. за 27, Листопад 2024];(4(30):88-91. доступний у: https://ttdruk.vpi.kpi.ua/article/view/55700