Юшко АВ, Зенкін МА. Контроль товщини тонких плівок еліпсометричним методом. ТТД [інтернет]. 30, Грудень 2010 [цит. за 04, Липень 2025];(4(30):88-91. доступний у: https://ttdruk.vpi.kpi.ua/article/view/55700